厂商：富临

型号：FU-20PEB-OPTO

技术指标：

1.蒸发材料：SiO2，Ti2O5等

2.加工能力：2寸片，102片；

3.蒸镀温度在室温到300℃之间可调；

4.膜厚均匀性3000A ≦3%；

5.波长反射率和透过率可实现≧98%；

工艺特点：

1. 离子源辅助沉积实现光学薄膜的低温沉积，并形成致密、高折射率的介质膜;

2. 全自动、光谱仪监控薄膜的生长厚度，精确控制薄膜的蒸镀厚度;

3. 强大的软件模拟和执行功能，可将目标膜系和实际膜系的光谱实时比较