厂商：德国PVA-TePla-AG
型号： 310 M
技术指标：
1.等离子体室：石英，直径245mm，深380mm; 2.等离子体发生器：微波频率2.45GHz，最大1.000瓦，可变功率
工艺特点：
1.微波等离子体廉价、易于使用、高度活性、高效，且不会对电子装置产生
损害，该系统配备洁净的石英晶体处理室;
2.可以进行普通光刻胶灰化、SU8灰化;
3.适合于光刻胶显影底膜的去除。
