设备简介：

厂商：AST(聚昌科技)

型号：Peva-600E

技术指标：

1.一次工艺可以蒸发四种不同金属材料；Ti/Al/Ti、Ni/Au、CrPtAu等，Au最后可做到3um；

2.蒸镀温度在室温到100℃之间可调；

3.Lift-off工艺一次可以蒸镀108片2"圆片；

4.Step-coverage工艺一次可以蒸镀67片2"圆片；

5.工艺的均匀性和重复性±5％.

工艺特点：

1. 因应功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化镓晶圆各种Lift-Off製程需求（Ti、Au、Al、Ni、Cr、AuGe等），将Throw Distance拉高至＞26~32吋;

2.Run to Run膜厚均匀性可控制至＜±1%，以确保整体产品良率;

3.最佳化蒸镀腔及排气系统设计，可有效降低Cycle time，并提升材料利用率（提高20%）